HEPA필터에 손상이 없는지 확인하고, 정상적으로 기능하고 있는지 확인합니다.
장기간 사용하면 구멍이 생기는 경우도 있습니다.

소정의 풍량이 나오고 있는지 확인합니다.
방치해 두면 막혀서 풍량이 감소합니다.
압력차가 역전될 가능성이 있습니다.

클린 룸의 공기의 흐름을 확인합니다.
청결하게 유지하기 위해서 공기의 압력차로 공기가 방 밖으로 흐르도록 만들어져 있습니다.

실내의 온도와 습도가 설정대로 가동이 되고 있는지를 확인합니다.

클린 룸에 떠 있는 먼지의 양을 확인 측정 합니다.
클래스 설정보다 많을 경우에는 HEPA필터가 손상되거나 막혀있을 가능성이 있습니다.
또 입자가 큰 먼지가 많을 경우에는 압력차가 역전될 가능성이 있습니다.

부유하는 세균이 존재 하고 있는지 없는지 클린 룸을 확인합니다.
규정된 이상의 세균수가 측정된 경우는 부유하는 먼지•쓰레기와 동일하게 HEPA 필터가 손상되거나 압력차가 역전될 가능성이 있습니다.