クリーンルームが設計清浄度とおりに機能しているか、確認します。
日常清掃だけではカバーしきれない高所・吸込口の除塵清掃、壁の清拭消毒を重点的に実施します。
所定の風量が得られているか、確認します放置しておくと目詰まりをおこして風量が減ってきます差圧逆転の原因になります。
クリーンルームの空気の流れを確認します清潔に保つために空気の圧力差で空気が部屋の外に流れるように作られています。
室内の温度湿度が設定どおりになっているか確認します保たれていないと作業スタッフが快適に仕事をする事ができません
クリーンルームに浮遊している埃が、どれくらいあるか、確認します。クラス設定よりも多いときは、HEPAフィルターの損傷、目詰まりしているかもしれませんまた粒子の大きい埃が多い場合は差圧の逆転も考えられます。
クリーンルームに浮遊している細菌があるか、確認します規定の細菌数以上の場合、浮遊塵埃同様にHEPAフィルターの損傷や、差圧の逆転が考えられます。
これらの測定はHEPAフィルター性能を確認するために実施されます。フィルターの
交換時期の確認及び、清潔環境を維持する為に定期的に測定を実施する事が大切です